P21R 系列(质量流量控制器/质量流量计)是高精度控制和测量气体质量流量的产品，采用层流压差式技术原理，实现多气体、多量程、高精度、快速响应的流量控制。

高精度±1%S.P./±0.2%F.S.
多量程，适用范围 1sccm~200 SLM
多气体，可支持 400 多种气体
可定制通讯模式、屏幕显示、机械接口
适用于各类高端工艺制程

  P21C系列（质量流量控制器/质量流量计）是为高端半导体工艺制程而设计，该系列产品全部采用金属密封，产品严格按照SEMI标准生产制造，符合半导体高端设备工艺需求。
 
超高精度，可达+0.05%F.S
超快速响应<200ms
重复性对标行业领先产品，可达 0.02%F.S.
可定制多种工作压力、通讯模式、屏幕显示、机械接口，适用于高精尖端工艺制程

   P21H-系列(质量流量控制器/质量流量计)是专为需要高纯度全金属流道的半导体制程和其他高精尖气体流量控制应用而设计的，开放式流道设计以及基于内部精确容积的在线自校准能力，为气体质量流量的控制、测量提供了极高的准确度及可靠性。

超高精度，可达±0.05% F.S.
超快速响应<200ms
重复性对标行业领先产品，可达 0.02%F.S.
接液材料采用316L VimVar+KM45+PCTFE，耐腐蚀性好
可定制多种工作压力、通讯模式、屏幕显示、机械接口，适用于高精尖端工艺制程

   P21F 系列是专为光伏能源、真空镀膜等行业设计的压力不敏感型质量流量控制器/流量计，基于层流压差式技术，数字式控制的高速反应，同时配备多种通讯模式应对各种用途的机型，支持W型，C型 IGS 气路系统，可以很好地满足客户的不同需求。

高精度，±1%S.P./±0.2%F.S
高响应速度<500ms
可定制多种工作压力、通讯模式、机械接口