P21C-系列质量流量控制器/流量计

P21C系列（质量流量控制器/质量流量计）是为高端半导体工艺制程而设计，该系列产品全部采用金属密封，产品严格按照SEMI标准生产制造，符合半导体高端设备工艺需求。
 
超高精度，可达+0.05%F.S
超快速响应<200ms
重复性对标行业领先产品，可达 0.02%F.S.
可定制多种工作压力、通讯模式、屏幕显示、机械接口，适用于高精尖端工艺制程