YD24系列下游压力控制器/流量计

YD24 系列(压力控制器/流量计)是一款应用于半导体等高端工艺制程的压力测控产品，基于压力式传感器技术，控压精度可达到±0.05%F.S.，产品制造各项技术指标均严格按照SEMI标准执行，可在任何工艺点对任何气体(包括选定的腐蚀性气体)进行远程传感压力控制，被广泛应用于半导体制造领域的沉积、刻蚀、热处理、离子注入等设备中。
 
下游控压，适用 1000torr 以下压力控制范围，精度可达±0.05%F.S.
快速响应<100ms，金属密封，电抛光表面光洁度适用于高纯度工艺应用
可定制多种通讯模式、机械接头
适用于半导体等多种高端工艺制程