辽宁冠华半导体有限公司(简称:冠华半导体)成立于 2022年，总部位于辽宁省沈阳市，是一家专注于工业测控领域及高端流量计核心技术研发与产业化应用。
公司立足半导体制造领域，通过自主研发的压力式流量传感技术突破传统流量计在精度、响应速度及稳定性方面的技术瓶颈，产品覆盖气体/液体流量监测(1SCCM~200 SLM，可定制扩展)、微流量控制等场景，测量精度达±0.05%FS，采用 316L 流道或定制高镍合金提升耐腐蚀性。其解决方案广泛应用于工业、泛半导体(光伏、燃料电池、分析仪器等)领域.
目前主攻半导体产业链为刻蚀、沉积、PVD、离子注入等关键工艺及 12 英寸晶圆产线提供高可靠智能流量控制，助力客户提升工艺一致性并降低能耗，推动国产核心零部件自主化。未来将持续以技术创新推动产业升级，致力于成为全球领先的精密测控方案提供商及高端流量控制技术标杆企业。
公司简介/Company Profile
依托自主核心技术突破，现已实现半导体核心装备在12英寸先进制程产线的规模化应用。现阶段重点推进客户结构优化，现已形成涵盖IDM、Foundry及OSAT厂商的多元化客户矩阵，累计签约客户数量近百家，业务网络覆盖半导体前道制程、先进封装及化合物半导体三大核心领域。
至今
2023年，公司正式启动气体质量流量计的工艺验证阶段，通过小批量试制完成产品技术指标验证及生产流程优化。并于同年8月成功获取首批小批量正式订单，标志着公司运营体系及市场渠道建设取得阶段性成果。基于前期技术积累和市场验证数据，生产系统完成产能爬坡测试，于2023年末顺利完成规模化量产能力建设，实现从研发验证向产业化进程的关键跨越。
2023
2022年
2022年3月，辽宁冠华半导体公司完成工商注册，同步启动半导体制造基地一期工程建设。在筹建期内，项目团队并行推进洁净厂房施工（Class 1000级）与半导体专用产线规划，通过设备选型论证及工艺参数调试，于12月完成首条12英寸晶圆产线试运行，顺利通过ISO 14644洁净度认证与SEMI标准工艺验证，实现当年建设当年投产的行业突破。
发展历程
