Y23 系列压力控制器是一款应用于高端制造领域的真空测控产品，基于压力式流量传感器技术,为气体压力的控制、测量提供了高准确度及高可靠性,Y23 系列适用于 5psia到 5000psia 压力控制能力的应用，产品采用金属密封，拥有高耐腐蚀性及高洁净度。被广泛应用于与集成电路、石油化工、生物医药、特种工业、环保和真空等领域。

YD24 系列(压力控制器/流量计)是一款应用于半导体等高端工艺制程的压力测控产品，基于压力式传感器技术，控压精度可达到±0.05%F.S.，产品制造各项技术指标均严格按照SEMI标准执行，可在任何工艺点对任何气体(包括选定的腐蚀性气体)进行远程传感压力控制，被广泛应用于半导体制造领域的沉积、刻蚀、热处理、离子注入等设备中。

下游控压，适用 1000torr 以下压力控制范围，精度可达±0.05%F.S.
快速响应<100ms，金属密封，电抛光表面光洁度适用于高纯度工艺应用
可定制多种通讯模式、机械接头
适用于半导体等多种高端工艺制程

该系列是一款专门应用于密闭腔体或容器中的压力测控产品，使用两个比例阀门，通过将压力传感器与阀门和流道物理隔离，精确控制密闭腔体或容器的气体的绝压或表压能有效减少由于持续排气造成的昂贵气体浪费，被广泛应用于半导体等多种高端工艺制程。

控压精度高，可达到±0.25% FS
快响应，最快可达到 30ms
双阀设计，避免持续排放昂贵气体造成的浪费
灵活定制，多种通讯模式、机械接头
适用于半导体等多种高端工艺制程

PTPZ24 压力变送器，采用压阻式压力传感器技术，能够精确测量压力变化，具有良好的稳定性，为各种电气和工艺提供便捷的连接方式,本产品适用于在关键工艺系统中测量超纯气体，接液表面光洁度优于0.2umRa，制造和组装后，装袋前在百级环境中用氮气进行吹扫。

应用领域：
*沉积、刻蚀、离子注入等工艺时检测和控制各种工艺参数
*超高纯度气体和化学品的输送
*监测和控制半导体生产环境
*检测芯片的可靠性和耐用性

PSPZ24 真空压力开关，采用压阻式压力传感器技术，保证了产品的高精度和重复性，产品采用超高纯(UHP)设计，接液表面采用耐腐蚀性 316VimVar 材料，确保设备在严苛环境下的可靠性，被广泛应用于半导体等高端工艺设备制程。

应用领域：
*真空度测量、转移仓应用；
*半导体生产应用，电子设备装置及压力大的保护装置；
*气体监控面板应用，监控多种气体系统。

HP高精度系列，科里奥利(液体流量控制器/流量计)，适用于在极端操作条件下进行高精度的测量控制，该产品可在多种条件下运行，包括极高的温度和压力以及超低流量，重复性可达到读数精度的±0.05%，配备全金属密封件、316L接液材料，多种通讯协议，让产品具有极高的耐腐蚀性和灵活性，适用于半导体、化工、制药、科研实验等对精度和可靠性要求较为严苛的场景。

C21-LP系列(液体流量控制器/流量计)采用科里奥利技术原理，其优势在于不依赖于流体的物理特性，直接实现了多种液体和气体兼容(包括腐蚀性液体)的高精度小流量测控，因此具有很高的测量精度和广泛的适用性，同时配备全金属密封件、316L接液材料，多种通讯协议，让产品具有极高的耐腐蚀性和灵活性，被广泛应用于半导体集成电路、石油化工、生物制药、食品加工等领域。

反应灵敏，精度高，液体最小可达到±0.2%，气体可至±0.5%；
流量范围、机械接头，接液材料都可进行定制化选择。